Kaltkathoden-Vakuummeter G-TRAN SC1 series

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KALTKATHODENMESSGERÄT SENSOREINHEIT G-TRAN SERIE SC1 Die G-TRAN Serie SC1 ist ein Kaltkathoden-Vakuummessgerät vom Typ Magnetron. Da kein Filament verwendet wird, ist eine längere Lebensdauer zwischen den Gerätewechseln gewährleistet. Es wird eine Wartung erwartet. Die einfache Wartung reduziert die Betriebskosten Wenn die Druckanzeige nicht benötigt wird, ergeben sich folgende Vorteile erreicht werden kann: Die Kosten für das Vakuummessgerät werden reduziert, da die Anzeige entfällt Kleinere Größe schafft Platz auf dem Bedienfeld Die Verkabelung wird reduziert Wartung Die Wartung ist sehr einfach Das Filament wird entfernt Keine Schäden durch Einwirkung von Atmosphärendruck Steuerausgangssignal 2 Sollwertausgänge Ausgangssignal Die Druckanzeige ist ein 0 bis 10V Protokollausgang (nichtlinearer Ausgang) Versorgungsspannung Betrieb mit DC24V BESONDERHEITEN / WEITERE ANWENDUNGEN Prozesskontrolle im Druckbereich von Präzisionsvakuumanlagen wird für die Herstellung von Halbleitern, Optiken und elektronischen Bauteilen verwendet Prozesskontrolle im Niedervakuumbereich für Industrieanlagen wie z.B Öfen Prozesskontrolle im Druckbereich für Vakuumsysteme mit mehrere Prozesskammern, wie z.B. Inline-Sputtern und Einzelsputtern waferbearbeitungsanlage