ATMOSPHÄRISCHE PIRANIMESSGERÄTE-KOMBINATION SW1 & ISG1
Dies ist ein Pirani-Manometer mit großem Messbereich, das von Atmosphärendruck bis 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr, 5×10-4 mbar) misst Platindraht wird für Filamente verwendet, daher funktioniert das Filament auch bei Atmosphärendruck
Misst von Atmosphärendruck bis 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr,
5×10-4 mbar)
Versorgungsspannung
Stromversorgung über 24VDC oder 100VAC bis 240VAC Eingang
Stoßfest
Das Design ist sehr stoßfest
Filamentmaterial: Platin (Pt)
Als Filamentmaterial wird korrosionsbeständiges Platin verwendet
Gut sichtbare LEDs zur Fehleranzeige
One-Touch-Einstellung
Atmosphärische Anpassung und die Nullpunkteinstellung kann durchgeführt werden
mit einem Tastendruck
Instandhaltbarkeit
Der Sensorkopf kann leicht ausgetauscht werden
Messwert-Ausgangssignal
Druck ist 0 bis 10V Protokollausgang
Steuerausgangssignal
3 Sollwertausgänge
Spezifikation der seriellen Kommunikation
RS485-Kommunikation (ISG1)
Anzeigeeinheit
Mit sichtbarer LED
Zertifizierung
Entspricht CE
Prozesskontrolle im Niedervakuumbereich von Vakuumanlagen wie z.B
wie sie für Halbleiter, Optik und Photovoltaik verwendet werden, FPD,
elektronikteilefertigung
Prozesskontrolle im Niedervakuumbereich für Industrieanlagen wie z.B
wie Vakuumöfen, etc.
Prozesskontrolle im Niederdruckbereich für Vakuumsysteme mit
mehrere Prozesskammern wie Inline-Sputtern und Einzelwafer
verarbeitungsgeräte
Für Pumpeneinheit (System), die eine Vibration und/oder Erschütterung in der Anlage aufweist
herstellungsprozess
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