Pirani-Vakuummeter G-TRAN SP1

digital

G-TRAN SERIE PIRANI MESSGERÄT SENSOREINHEIT SP1 Die Sensoreinheit SP1 ist ein integriertes Pirani-Messgerät, bestehend aus dem Messkopf der WP-Serie und Schaltungen für den Bereich von 3000 bis 0,4 Pa (22 bis 3×10-3 Torr/ 3 bis 4×10-3 mbar). Dieses Vakuummessgerät bietet Kostenreduzierung und Platzersparnis durch Minimierung von Funktionen. Dies wird durch Entfernen der Anzeige erreicht Wenn Sie kein Druckanzeigegerät benötigen: Sie können die Kosten für ein Vakuummessgerät senken. Sie können Platz sparen, indem Sie das Bedienfeld minimieren. Sie können Verdrahtungsschaltungen minimieren. Wartungsfreundlichkeit Der Austausch der Messköpfe ist sehr einfach. Filamentmaterial: Platin (Pt) Für das Filamentmaterial wird korrosionsbeständiges Platin verwendet. Geeignet für die Verwendung von Messköpfen der WP-Serie Sie können Strommessköpfe (WP-01, 02, 03, 16) ohne modifikation. Steuerausgangssignal Die Verwendung von zwei Sollwerten ist möglich. Ausgangssignal Die Druckanzeige ist ein 0 bis 5V-Ausgang (nichtlinear). Versorgungsspannung Das Gerät arbeitet mit einem DC24V-Eingang und steuert den Prozess im Niedervakuumbereich von Vakuumgeräten wie z.B sowie für die Halbleiter-, Optik- und Elektronikteilefertigung. Prozesskontrolle im Niedervakuumbereich für Industrieanlagen wie z.B wie Vakuumöfen, etc. Prozesskontrolle im Niederdruckbereich für Vakuumsysteme mit mehrere Prozesskammern wie Inline-Sputtern und Einzelwafer verarbeitungsausrüstung.