Geschmierte Vakuumpumpe GGT-3, PGT series

einstufig

TITANGETTERPUMPE GGT-3, PGT-SERIE Titan-Getterpumpen (GGT-3 / PGT-Serie) leiten den Strom direkt durch die in einer Vakuumkammer platzierte Titanlegierung, um das Titan zu sublimieren. Da eine aktive metallische Oberfläche aus Titan keine inaktiven Gase (He, Ne, Ar, CH4, C2H6 und andere organische Gase) absorbiert, werden diese Einheiten in Kombination mit Geräten wie Sputterionenpumpen und Turbomolekularpumpen eingesetzt. Eine absorbierende Oberfläche aus sublimiertem Titan verbessert die Pumpgeschwindigkeit und verbessert den Enddruck. Die Filamente aus Titanlegierungen haben eine lange Lebensdauer. Ein Filament hält bei Dauerbetrieb ca. 75 Stunden (30 Sekunden Strom / 60 Sekunden im Ruhezustand) und ca. 25 Stunden bei Dauerstrom. Da an den Flanschen Metalldichtungen verwendet werden, können Ausheiztemperaturen von 250℃ erreicht werden. Eine eigene Oberflächenbehandlung aller Strukturoberflächen wurde für Hochvakuumbedingungen durchgeführt.