Trockene Vakuumpumpe PRC series

einstufigWassermit mechanischer Überdruckvorrichtung

MECHANISCHE VERSTÄRKUNGSPUMPE PRC-SERIE Durch den Einsatz in Verbindung mit trockenen Vakuumpumpen, ölgefüllten Rotationsvakuumpumpen oder wasserdichten Vakuumpumpen können mechanische Druckerhöhungspumpen das Saugvermögen im Bereich von 10 kPa bis 0,1 Pa erhöhen, wenn das Saugvermögen der Vorvakuumpumpe sinkt. Die PRC-Serie wurde für Halbleiter- und Flüssigkristallanzeigeprozesse entwickelt, die besonders hohe Anforderungen an die Sauberkeit stellen. Als Option kann die Startart des Atmosphärendrucks gewählt werden. Ölfrei Kein Öl im Pumpengehäuse, dadurch stabile Leistung auch bei der Evakuierung von Wasserdampf oder Lösungsmitteldämpfen. Spaltrohrmotor Die Verwendung von Spaltrohrmotoren könnte die Verwendung von Gleitringdichtungen vermeiden zwischen Atmosphäre und Vakuum. Es kann in sauberen und sauberen Umgebungen verwendet werden umgebung ohne Ölleckagen. Hervorragende korrosionsbeständige Oberflächenbehandlung Anodische Oxidschicht für Oberflächenhärte und Korrosionsschutz die Beständigkeit der Hauptteile kann Kratzer und Korrosion verhindern in der Pumpe. Die Oberflächenbehandlung kann ausgewählt werden als option. Atmosphärendruck Starttyp für kürzere Evakuierung Typ (Option: Wechselrichter) Dieser Typ kann die Pumpzeit verkürzen im Vergleich zu standardtyp, da die Pumpe gleichzeitig mit dem Start von vorvakuumpumpe.