Erfassung der Neigung im Gravitationsfeld mittels MEMS- Sensoren (Micro-Electro-Mechanical-System) mit anschließender Digitalisierung und Linearisierung durch Controller. Die Datenausgabe erfolgt über die CANopen-Schnittstelle oder als Analogsignal. Der Neigungssensor hat ein stabiles Aluminiumgehäuse (optional Edelstahl). Zur mechanischen Ausrichtung (bis ca. ± 7,5°) sind Langlöcher vorhanden. Wahlweise können ein Stecker oder Stecker/Buchse bei CANopen zum Anschluß gewählt werden. Durch Vergussmaßnahmen im Gehäuse wird die Schutzklasse IP 69K, z. B. für den Einsatz unter Wasser, erreicht.
MEMS Sensoren sind integrierte Schaltkreise, die in Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt werden. Mithilfe dieser mikromechanischen Strukturen werden Doppelkapazitäten gebildet. Werden diese Strukturen bei Beschleunigungen, z.B. Erdbeschleunigung (g), ausgelenkt, erfolgen Kapazitätsänderungen, die messtechnisch erfasst und weiterverarbeitet werden. Durch die hier beschriebene Abhängigkeit der Differenzialkapazität folgt die Ausgangsspannung der Funktion U ∝ g * sin α. Der Winkel α ist hier der Neigungswinkel des Sensors gemessen zum g-Vektor. Diese Sensoren messen präzise, haben eine hohe Lebensdauer und sind sehr robust. Die Messachsen arbeiten unabhängig voneinander.