Plasma-Generator / Mit durchgangigem Impulsstrom TruPlasma Highpulse 4000 (G2)

PVD

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) können in bestehenden Magnetron-Systemen ohne Modifikationen als Alternative zu DC-Sputtergeneratoren genutzt werden. Sie liefern besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen und sind daher die erste Wahl für High Power Impulse Magnetron Sputtering Anwendungen. Einwandfreie Beschichtungsresultate Einwandfreie Spitzenleistungen von bis zu 4 Megawatt erzeugen extreme Plasmadichten mit hohen Ionenflüssen. Flexibel Einsetzbar Die einfache Anpassung an vorhandene Kathodensysteme und Prozessbedingungen ermöglicht eine optimale Geräteeinbindung. Die erste Wahl für HiPIMS Anwendungen Als neueste Entwicklung bei gepulsten PVD-Sputterprozessen bietet HiPIMS besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen. Für eine Vielzahl von Anwendungen Auch im DC-Modus nutzbar, kein zusätzlicher Gleichstromgenerator notwendig.