Plasmaquelle für Oberflächenbehandlung TruPlasma DC 3000 (G2) series

Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren. Niedrigste Arc-Energie ihrer Klasse Restenergien < 0,3 mJ/kW garantieren beste Schichtqualitäten und hohe Abscheidungsraten. Hohe Leistungsdichte Sehr kompakte Bauweise (19-Zoll-Einschub), daher einfache Integration auch größerer Leistungen. Große Leistungsbandbreite Ausgangsleistungen von 20 kW bis 300 kW, somit auch Ersatz größerer Generatoren möglich. Vollständige Wasserkühlung Ermöglicht lange Systemlaufzeiten und reduziert den Wartungsaufwand. Einfache Systemintegration Variable Netzspannung (400 V bis 480 V) und verschiedene Datenschnittstellen.