Radiofrequenz Plasma-Generator TruPlasma RF 3000 series

Mit diesen HF-Generatoren gehen Sie auf Nummer sicher: Die TruPlasma RF Serie 3000 zeichnet sich durch eine robuste Bauweise und hohe Effizienz aus. Damit ist sie bestens geeignet für stabile, reproduzierbare Plasmaprozesse, wie sie beispielsweise bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen oder Halbleitern zur Anwendung kommen. In tausenden von Anwendungen weltweit installiert, garantieren diese Generatoren eine hohe Produktivität und herausragende Prozessergebnisse. Effizienz und Wirtschaftlichkeit Wirkungsgrade bis zu 80 % ermöglichen eine Reduktion der Energiekosten um bis zu 50 %. Exzellentes RF-Arc-Management Sichere Führung auch von anspruchsvollen und neuartigen Prozessen. Hohe Robustheit und Prozessstabilität CombineLine-Technologie: zuverlässiger Schutz gegen reflektierte Leistungen bei Fehlanpassung. Maximale Flexibilität Kontinuierliche oder gepulste Leistungsabgabe, daher sehr vielseitig einsetzbar.