Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!
Hohe Schichtqualität und Produktivität
Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste.
Beste Ergebnisse auch in kritischen Prozessen
Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen.
Einfache Prozessanpassung
Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage.
Kompakte und robuste Bauweise
Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.