Das Minilock-Phantom RIE ICP ist ein modernes Ätzungssystem mit hoher Dichte mit einem Vakuum-loadlock und einer induktiv verbundenen Plasmaquelle. Es ist entworfen worden, um Prozesse der innovativen, Vorderkante zur Verfügung zu stellen. Der kleine Abdruck und der robuste Entwurf machen es ideal für Forschungs- und Produktionsumwelt
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