AC/DC-Netzteil 640

mit variablem AusgangBenchtop

Chuck Optimizer-System der Wanderung ist elektrostatisches des Modell-640 ein Diagnose-Tool, das Bewertung und Optimierung von Wellenformen/von Spannungen für elektrostatische Klemmen/Klammern ermöglicht, um Deklammernzeit herabzusetzen, Klammernkraft zu maximieren und erzielt die optimale Oblate, die für ESC-Systeme verarbeitet. Modell 640 kombiniert zwei Verstärker (für Zweiphasenspannungskombinationen) und einen Wellenformgenerator, die unabhängig programmiert sein und konfiguriert sein können, um die perfekte Stromversorgung und das Wellenformrezept nachzuforschen, zu erforschen und zu entdecken, um eine ESC-Anwendung leistungsfähig zu fahren. Ein elektrostatischer Voltmeter (ESVM) ist eingeschlossen, um Restspannung vom clamping/de-clamping Prozess zu überwachen. Schlüsselspezifikationen Ertrag-Einteilung in Phasen: Spannung A: 0 zu ±2 KV (4 KV p-zu-p) Spannung B: 0 zu ±2 KV (4 KV p-zu-p) Ertrag-Strombereich: 0 zu ±5 MA DC mit einer Höchstfähigkeit von 10 MA Elektrostatische Voltmeter-Strecke: 0 ±2 KV zu DC oder zu Spitze Wechselstrom Ertrag-Einteilung in Phasen: Entschließung: Bit 16 Proben pro zweite: 250k Typische Anwendungen umfassen Elektrostatisch-gesteuerte Behandlung von Materialien Halbleiterwaferverarbeitung Nicht mechanische Übertragung von den Flachbildschirmen oder von anderen Verarbeitungsmaterialien empfindlich für die mechanische Behandlung Eigenschaften und Nutzen Ermöglicht der Schaffung von kundengebundenen Wellenformen, einfach dennoch stark zu sein, die komplexesten Wellenformen zu erzeugen, die vom Benutzer vorgestellt werden können Die Software des Produktes nimmt Parameter über willkürliche Dateneingabe, vorprogrammierte Wellenformen an, oder Benutzer erzeugte CSV-Dateien Bringt einphasige oder Zweiphasen-ESC-Systeme unter Forschung wird über drei einzeln programmierte Stadien erhöht, um den Ertrag zu errichten