Das Mikroskop der Wanderungs-vorbildliche elektrostatischen Kraft-1100TN (EFM) ermöglicht Spannungsverteilungsmaßen mit einer sehr hohen Ortsauflösung, die als 10μm besser ist, das weit über der Fähigkeit von typischen elektrostatischen Voltmetern ist. Das EFM der Wanderung kann Spannungsverteilung über einer viel größeren Fläche verglichen mit einem Überprüfungssondenmikroskop auch messen, wenn es unter Witterung funktioniert wird. Das EFM der Wanderung setzt eine Feedbackspannung zum Detektor ein, der der gemessenen Spannung gleich ist, die folglich den Funkenüberschlag zwischen dem Detektor und der Oberfläche in Versuch verhindert.
Schlüsselspezifikationen
Spannungsbereich: ±1 KV
Spannungs-Empfindlichkeit:
Genauigkeit: Besser als 0,5% von komplettem
Besser als 100 Millivolt
Zuwachsschritt: 1 µm, minimal (Detektor)
Detektor-Spitze: µm 5 µm X 5
Maß-Bereich: 5 Millimeter X 5 Millimeter
Typische Anwendungen umfassen
Maß von antistatischen Taschen, Sioblate
ElektrofotografieMaterialprüfung
Foto-voltaische Materialbewertung
MEMS-Prüfung
Eigenschaften und Nutzen
Kann in Atmosphärenzuständen verwendet werden
Ortsauflösung ist besser als μm 10
Drei Maßmodi:
- Statisch
- Linie Profil
- Diagramm 3D
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