DC/DC-Netzteil 645

mit variablem AusgangRack

Wanderungen modellieren 645, die Software-gesteuerter elektrostatischer Chuck Supply eine Reihe Eigenschaften anbietet, die signifikante Vorteile bei der Unterbringung einer Vielzahl der fordernden Anwendungen liefern. Dokumentierter Gebrauch zeigt, dass Kunden Leistungssteigerungen und Durchsatzgleichgestelltes zu dreimal gesehen haben, die von anderen Versorgungen. Zusätzlich beseitigt die vorbildlichen 645 praktisch klebrige Oblate und knallende Fragen der Oblate und so stellt bessere Steuerung über Partikelverschmutzung sicher. Die Vielseitigkeit und die Leistung der vorbildlichen 645 gegeben, kann es in den mehrfachen einzigartigen Werkzeugen/in den Prozessen verwendet werden und den Bedarf so beseitigen, eine neue Versorgung für jedes einzigartige Werkzeug/Prozess in einer Anlage zu spezifizieren. Schlüsselspezifikationen Ertrag-Einteilung in Phasen: Spannung A (Bezugsphase): 0 zu ±2 KV Spannung B (Phase B = [- 1] x-Phase A): 0 zu ±2 KV Ausgangsspannungs-Strecke: 0 zu ±2 KV Ertrag-Strombereich: 0 zu ±6.5 MA DC mit einer Höchstfähigkeit von 10 MA Typische Anwendungen umfassen Elektrostatisch-gesteuerte Behandlung von Materialien Halbleiterwaferverarbeitung Nicht mechanische Übertragung von den Flachbildschirmen oder von anderen Verarbeitungsmaterialien empfindlich für mechanischen Ausschnitt Eigenschaften und Nutzen Stützt Coulombic und Johnsen-Rahbek ESC-Technologien Benutzer konfigurierbar für kundenspezifische Klammern- und declampreihenfolgen und Wellenformen Elektrostatische Klemmenprofile können zur Einheit geladen werden und über eine benutzerfreundliche Programmschnittstelle innerlich gespeichert werden Dokumentierte Reduzierung von Rückseitengasfehlern, von erhöhtem Durchsatz und von Beseitigung von klebrigen/knallenden Oblaten Verschließbare Vorderteilantriebssteuerung Fähigkeit zu den Steuerparametern wie Überstrom-, Oblate-anwesenden und Oblate-festgeklemmterschwellen, Klammernspannung,