Antivibrationsplattform STACIS Quiet Island

Halbleiterfabriken, Nanotechnologiezentren, Nanofabs und andere Präzisionsfertigungs- und Forschungseinrichtungen setzen oft Reinräume mit einem System aus Doppelböden ein, um komplexe Anforderungen an die Einrichtungen zu erfüllen (Leitungen, elektrische Kabel, Gasleitungen etc.) und strenge Sauberkeitsstandards einzuhalten. Solche Böden stellen eine Herausforderung bei der Installation von schwingungsempfindlichen Produktions-, Prüf- und Messgeräten dar. Die Doppelböden bieten nicht die für solche Instrumente erforderliche ruhige, schwingungsfreie Umgebung. TMCs Quiet Island ist eine innovative Lösung, die einen Bereich des Doppelbodens durch eine mit dem Unterboden verankerte schwingungsarme „Insel“ ersetzt. Quiet Island Plattformen besteht aus einer reinraum-kompatiblen Plattform mit einer anwendungs- und standortspezifischen Ständerstruktur. Schwingungsdämpfung Das tragende Hauptelement für das Quiet Island und damit die einzigartige Kerntechnologie ist das STACIS III aktive Schwingungsisolationssystem. Das „steife“ Ständersystem mit Schwingungsdämpfung ist wesentlich für schwingungsempfindliche Instrumente und erlaubt den Betrieb derselben auf höchstem Leistungsniveau in ansonsten unruhigen Umgebungen. STACIS III ist kompatibel mit Werkzeugen zur automatischen Wafer-Bearbeitung, hochauflösenden Elektronenstrahl-Instrumenten für die Bildgebung, Werkzeugen für Ionenstrahl-Materialbearbeitung sowie allen Geräten mit internen Schwingungsisolationssystemen, sowohl passiv als auch aktiv (siehe unser White Paper zur kombinierten Anordnung von aktiven Isolatoren).