3-Achs-Positioniersteuerung PEPS® II

digitalelektronischHochleistung

PEPS® II ist ein Verbesserung des patentierten PEPS® (Precision Electronic Positioning System) von TMC. Durch die Ergänzung einer neuen digitalen Steuerung ist PEPS® II benutzerfreundlicher, verfügt über mehr Funktionen sowie eine verbesserte Benutzeroberfläche. PEPS® II ist ein digitales, kontaktloses Höhenregelungssystem für pneumatische Schwingungsisolationssysteme von TMC. Solche Systeme verfügen über mechanische Höhenregelventile und sind an eine Höhenerkennung gekoppelt. Anwendungsbereiche des Systems reichen von der Verbesserung der Einschwingzeit und Erhöhung der Ausbeute von Fertigungswerkzeugen für Halbleiter bis zu Präzisions-Laborumgebungen, die optimale Leistung und Plattformstabilität bei Schwingungseinwirkung erfordern. Digitale Steuerung, benutzerfreundliche LCD-Anzeige •Kontaktlose elektro-pneumatische Höhenregelung für Gimbal Piston™, CSP® und MaxDamp® Schwingungsisolationssysteme •Wiederholgenauigkeit für Positionierung auf der Z-Achse: 10 Mikrometer •Verbesserte Schwingungsisolation durch Entfernen des Hebel-Kontaktpunkts herkömmlicher mechanischer Höhenregelungssysteme •Pneumatische Vorsteuerung minimiert Reaktionen der Z-Achse auf Positioniererbewegungen in X-Y-Richtung •Kann für die schnelles Einschwingen von durch X-Y-Positionierer ausgelösten Bewegungen angepasst werden