Aktiv-Schwingungsdämpfungssystem Electro-Damp® II

für die Halbleiterindustrie

Electro-Damp® ist das erste kommerzielle aktive Schwingungsisolationssystem, das speziell für die Erhöhung des Durchsatzes, der Auflösung und der Ausbeute bei Anwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Electro-Damp II ist ein vollständiger Neuentwurf des Originalsystems, der zusätzlich über einen modularen Aufbau, eine digitale Steuerung, Vorsteuerung, Aktoren mit hoher Krafteinwirkung/großem Stellweg und verschiedene digitale, Benutzeroberflächen verfügt - speziell für den Einsatz in OEM-Anwendungen, wie etwa in Mikrolithographie-, Prüfungs- und Messwerkzeugen. Fertigungswerkzeuge für Halbleiter stellen widersprüchliche Anforderungen an ihre Schwingungsisolationssysteme. Bei Bodenvibrationen muss das System weich aufgehängt sein, um Bodenschwingungen effektiv vom Erreichen der isolierten Oberfläche abzuhalten. Gleichzeitig muss das System starr gegenüber Krafteinwirkungen des Positionierers sein, sodass dessen Bewegungen nur eine minimale Verschiebung der isolierten Oberfläche bewirken und diese rasch wieder einschwingt. Zusätzlich zur aktiven Dämpfung von Trägheits-Feedback nutzt Electro-Damp II eine Informations-Vorsteuerung, um die Systemreaktion weiter zu verbessern. Die Vorsteuerung bezieht von einer Positionierersteuerung Informationen zur Position und Beschleunigung des Positionierers und verarbeitet diese Daten anschließend, um eine Kraft auf die Traglast auszuüben, welche die vom Positionierer ausgelöste Bewegung der Traglast erheblich reduziert. Das System kann die Informationen der Vorsteuerung digital, als bipolare Analogsignale oder durch Auslesen des Ausgangssignals von Quadratur-Encodern beziehen.