Aktiv-Schwingungsdämpfungssystem Stage-Base 450

für die Halbleiterindustrie

TMC setzt weiterhin fortschrittliche Technologie zur Entwicklung neuer Lösungen ein, welche die hohen Anforderungen von Halbleiterinstrumenten erfüllen. Stage-Base 450 wurde speziell als primäres Schwingungsdämpfungssystem für moderne Halbleiterwerkzeuge mit hochpräzisen motorisierten X-Y-Positionierern entwickelt. Diese Werkzeuge benötigen einerseits eine extrem effektive Schwingungsdämpfung, andererseits ist es ebenso wichtig, dass vom Positionierer verursachte Bewegungen der Traglast schnell beruhigt werden, um den Werkzeugdurchsatz zu maximieren. Durch die Ergänzung dynamischer Aktoren mit Vorsteuerung erfolgen noch kürzere Einschwingzeiten und zusätzlich die Verbesserung des Durchsatzes. So entsteht ein modernstes aktives Schwingungs- und Bewegungsdämpfungssystem für Anwendungen mit Positionierern. Die Vorteile der Stage-Base Stage-Base 450 ist ein aktives, steifes, piezoelektrisches Schwingungsdämpfungssystem der neuesten Generation mit Schwingspulen-Technologie. Nur TMC bietet diese einzigartige serielle Technologie für fortschrittliche niederfrequente Schwingungsdämpfung kombiniert mit dynamischen Aktoren (VCM) für die aggressive Dämpfung von Positioniererbewegungen an. Das Stage-Base 450 aktive Dämpfungssystem der neuesten Generation nutzt TMCs STACIS Technologie, um höchste Schwingungsdämpfung mittels piezoelektrischer Aktoren und einer steifen Aufhängung in einer seriellen Architektur zu erreichen. Dies ermöglicht eine in der Branche bisher unerreichte Isolation von Bodenschwingungen ab 0,6 Hz mit einer deutlich niedrigeren anfänglichen Auslenkung als Reaktion auf von Positionierern ausgehende Krafteinwirkung.