Runde elastische Lagerung STACIS® III

Elastomeraktiver Schwingungsdämpfer

STACIS® III ist ein flexibles, fortschrittliches aktives Schwingungsisolationssystem. Durch den Einsatz fortschrittlicher Trägheitsschwingungssensoren, modernster Steueralgorithmen und piezoelektrischer Aktoren auf dem neusten Stand der Technik dämpft STACIS Schwingungen in Echtzeit. Dies erfolgt durch permanente Messung der Bodenaktivität und Auslenken der piezoelektrischen Aktoren zum Dämpfen der Bodenschwingung. Ursprünglich für die Isolation von Präzisions-Mikrolithographie-, Mess- und Prüfinstrumenten in modernen Halbleiterfabriken entwickelt, stellt STACIS nun die Standardlösung der Branche für die empfindlichsten Instrumente in unruhigen Umgebungen dar. Dies sind unter anderem Halbleiterfabriken, Labore für Fehleranalyse, Nanotechnologie-Forschungszentren, Nano-Fertigungseinrichtungen und Labore in der Werkstoffforschung. STACIS III nutzt eine neue und verbesserte Steuerung, die DC-2020. Mit einem neuen Dual-Core-Prozessor und Ethernet sowie seriellen USB-Anschlüssen an den Front- und Rückplatten bietet dieses neue, fortschrittliche Steuerungssystem dem Benutzer eine moderne und benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Mit vielen Hunderten erfolgreichen Installationen weltweit ist STACIS das ideale Schwingungsisolationssystem für die meisten schwingungsempfindlichen Instrumente. Die Vorteile von STACIS III Hunderte Male steifer als pneumatische Isolatoren wird STACIS nicht durch die typischen Einschränkungen von pneumatischen Schwingungsisolationssystemen beeinträchtigt.