Pirani-Vakuumtransmitter VSH

mit HeißkathodedigitalRS485

Absolutdruck 1000 mbar bis 5 x 10-10 mbar (=hPa), 750 Torr bis 1 x 10-10 Torr Die kompakte Kombinations-Messröhre VSH (Pirani/Heißkathode) misst Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die Intelligenz interner Mikroprozessoren sorgt für einen nahtlosen Übergang der beiden Sensorprinzipien und damit für hohe Genauigkeit. Ihre Vorteile » Großer Messbereich durch Kombinationssensor Pirani/Bayard Alpert » Pirani mit weitem Messbereich, dadurch Betrieb der Heißkathode bei niedrigem Druck und optimierte Lebensdauer » Exzellente Genauigkeit und Reproduzierbarkeit » Bayard-Alpert mit durchbrennsicherem, yttriertem Iridium-Doppelfilament, unempfindlich gegen Lufteinbruch » Digitale RS485-Schnittstelle und logarithmisches Ausgangssignal 1,219- 8,6 V oder EtherCAT » Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 kBd bis 115 kBd » Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung (VSH88DL, VSH89DL) » Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte » Einfach austauschbarer Sensorkopf mit eingespeicherten Kalibrierdaten Beispiele für Anwendungen » Analysentechnik » Aufdampf- und Beschichtungsanlagen » Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich » Verfahrenstechnik » Vakuumöfen » Sputteranlagen