Absolutdruck 1000 mbar bis 5 x 10-9 mbar (=hPa), 750 Torr bis 5 x 10-9 Torr
Die kompakte Kombinations-Messröhre VSM (Pirani/Kaltkathode) misst Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die Intelligenz interner Mikroprozessoren sorgt für einen nahtlosen Übergang der beiden Sensorprinzipien und damit für hohe Genauigkeit.
Ihre Vorteile
» Großer Messbereich durch Kombinationssensorik Pirani/Kaltkathode
» Automatisches Ein-/Ausschalten der Kaltkathode durch den Piranisensor bei niedrigem Druck verlängert die Lebensdauer
» Widerstandsfähige Kaltkathoden-Messzelle, unempfindlich gegen
Lufteinbruch
» Spannungsreduktion der Kaltkathode optimiert Lebensdauer der Sensoren
» Digitale RS485-Schnittstelle und analoges Ausgangssignal 1,819-8,6 V
oder EtherCAT
» Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 kBd bis 115 kBd
» Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung
(VSM77DL, VSM79DL)
» Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte
» Ersatzsensoren mit im Sensorkopf gespeicherten Kalibrierdaten, einfacher
Austausch vor Ort
Beispiele für Anwendungen
» Massenspektrometer
» Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
» Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
» Verfahrenstechnik
» Sputteranlagen
» Vakuumöfen