PVC Ion Gauge / Vacuum System Controller ● für passive UHV Heißkathoden
Die Produktpalette umfasst Controller für einen oder zwei passive Heißkathoden-Sensoren und eine Reihe von Plug-In-Modulen zur Steuerung von zusätzlichen, passiven Pirani-Sensoren VSP52x/VSP84x oder aktiven 0-10V Vakuumtransmittern.
PVC Process Vacuum Controller für einen oder zwei passive Heißkathoden-Sensoren und eine Reihe von Plug-In-Modulen zur Steuerung von zusätzlichen, passiven Pirani-Sensoren VSP521/VSP841 oder aktiven 0-10V Vakuumtransmittern der Analog- oder Smartline. Passende Heißkathoden-Sensoren, Zubehör, wie Thermocouple-Temperatursensoren zur Ausheizkontrolle, sowie Sensorkabel sind ebenso erhältlich.
Überblick PVC Ion Gauge / Vacuum System Controller
- 1 x UHV Ionen Messröhre (PVCuni) oder 2 x UHV Ionen Messröhren (PVCduo)
- 2 Modulsteckplätze für zusätzliche Pirani Messröhren (VSP52x, VSP84x) oder aktive 0-10 V Transmitter
- Intuitive, menügesteuerte Bedienung
- Automatische Emissionssteuerung oder 11 manuelle Emissionseinstellungen
- Rampenförmige Power-Degas-Funktion, Druckmessung während Degas
- Integrierter, abgesicherter Multistep Bake-Out Controller
- 2 benutzerdefinierbare on/off Timer
- Benutzerdefinierbarer Interlock Hub, 7 digitale Ausgänge und 4 digitale Eingänge
- Messwertanzeige in Druckeinheiten oder alternativ direkt als Ionenstrom (inkl. Emissionskorrektur) für Beam Flux Monitoring (BFM)
- RS232/RS485 Schnittstelle zur einfachen Vernetzung per Daisy-Chain
- Volle Computersteuerung via binären MODBUS- und ASCII basierten QueBUS
- 2 x 0-10V Analogausgänge
Anwendungsbereiche
- Prozesssteuerung, Druck und Interlock Überwachung in HV und UHV Systemen