Vakuumtransmitter / Kombinationssensor Piezo Pirani VSL

RS485EtherCAT

Der digitale Vakuumtransmitter VSL wurde speziell für Loadlocks entwickelt. Das metallgedichtete Vakuummessgerät bedient sich einer Multisensoren-Technologie und kombiniert dazu zwei Piezo-Sensoren mit einem Pirani-Sensor. Somit wird Absolutdruck im Bereich 1200 … 1e-4 mbar sowie auch Relativdruck zur Umgebung im Bereich -1060 … +340 mbar gemessen. Überblick VSL Vakuumtransmitter für Loadlocks: - Integriertes Multi-Sensor-System: Zwei Piezosensoren messen Absolut- und Relativdruck für die Überwachung des Abpump- und Belüftungsvorgangs der Kammer/Schleuse. Ein Piranisensor mit einem Messbereich bis 10 mbar kontrolliert den Niederdruck-Transfer zwischen Loadlock und Prozesskammer für bestmögliche Prozessreinheit. - Digitale RS485 Schnittstelle plus 0-10 V Ausgangssignal, EtherCAT oder PROFINET - Differenzdruckausgang für präzises Auslösen der Door-Open-Funktion - Hohe Genauigkeit, optimale Auflösung und exzellente Stabilität - Kurze Reaktionszeit bis zu 40 ms - Stabile Messwerte durch optimierte Temperaturkompensation - Messungen über 20 mbar gasartunabhängig - Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte