Die Thermo Scientific Inspect 3D Software bietet eine benutzerfreundliche Lösung für die Ausrichtung von tomographischen Bildserien (die mit Transmissions-Elektronenmikroskopie oder Raster-Transmissions-Elektronenmikroskopie, TEM oder STEM, gewonnen wurden) zusammen mit energiedispersiven Röntgenspektroskopie-Karten (EDS), um eine 3D-Rekonstruktion der Daten zu erstellen. Die Inspect 3D Software bietet auch grundlegende Visualisierungsfunktionen. Alle Thermo Scientific TEM-, STEM- und EDS-Tomographiesoftware sind vollständig mit Inspects 3D Software kompatibel.
Inspect 3D Software beginnt mit einer groben X-Y-Ausrichtung auf der Grundlage der Kreuzkorrelation der Bilder. Die Ausrichtung kann durch automatisierte Bead-Tracking- oder Patch-Tracking-Verfahren weiter verfeinert werden. Beim Bead-Tracking werden mehrere runde Partikel auf der Probe während der gesamten Kippserie verfolgt, wobei Rotations- und Vergrößerungsänderungen für jedes Bild korrigiert werden. Beim Patch-Tracking werden mehrere Bereiche des Bildes während der gesamten Kippserie verfolgt und die Ergebnisse anschließend kombiniert.
Inspect 3D Software bietet zwei klassische Algorithmen zur 3D-Volumenrekonstruktion: die gewichtete Rückprojektion (WBP) und die simultane iterative Rekonstruktionstechnik (SIRT). Darüber hinaus bietet Inspect 3D Software eine einfache EDS-Tomographie-Rekonstruktion mit gleichzeitiger Verarbeitung von STEM- und EDS-Dateien, genannt HAADF-EDS bimodale Tomographie (HEBT), die zu einer verbesserten Elementrekonstruktion führt.
Zu den mit Inspect 3D Software angebotenen iterativen Rekonstruktionstechniken gehören;
- Konjugierte Gradienten-Kleinstquadrate (CGLS)
- Erwartungsmaximierung (EM), bei der Dehnungsartefakte im Vergleich zur SIRT-Rekonstruktion deutlich reduziert werden
- Simultane algebraische Rekonstruktionstechnik (SART)
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