FIB/SEM-Mikroskop SOLARIS X

für Analysehochauflösendultrahochauflösend

Eine Plasma-FIB-SEM-Plattform für tiefe Schnitte und höchstauflösende Endpunkte für die Fehleranalyse auf Baugruppenebene - Vorhangfreie großflächige Querschnitte für die Analyse physikalischer Fehler bei fortschrittlichen Verpackungstechnologien - Bereiten Sie großflächige FIB-Querschnitte bis zu 1 mm Breite vor - Erhalten Sie ein rauscharmes, hochauflösendes Bild bei niedrigen keVs in kurzer Erfassungszeit bei FIB-SEM-Koinzidenz mit der geneigten Probe - Live-SEM-Überwachung während des FIB-Fräsens für präzises Endpointing - Beobachten Sie die strahlungsempfindlichsten Materialien mit ultrahoher Auflösung bei niedrigen keVs für Oberflächenempfindlichkeit und hohem Materialkontrast - Effektive Techniken und Rezepte für schnelle und artefaktfreie Querschnitte von Verbundproben (OLED- und TFT-Displays, MEMS-Bauteile, Isolationsdielektrika) bei hohen Strömen - Essence™ einfach zu bedienende modulare Benutzeroberfläche