Pirani-Vakuummeter HPM 2002

piezoresistivmit LED-Displaykompakt

Das preisgekrönte Zwei-Sensor-Vakuummessgerät der Serie 2002 ist in zwei Montagearten erhältlich: Schalttafelmontage oder Sensormontage. Das HPM-2002, ein Vakuummeter mit zwei Sensoren, ist ein Instrument zur Schalttafelmontage mit einer mikroprozessorgesteuerten Anzeigeeinheit, einem Messrohr und einem Verbindungskabel. Die beiden Messfühler (mikrobearbeiteter Pirani- und piezoresistiver Sensor) ermöglichen eine genaue Vakuummessung über 7 Druckbereiche von 1 X 10-4 bis 1000 Torr. Ein im Mikroprozessor befindlicher Algorithmus sorgt für einen nahtlosen Übergang zwischen den Sensoren. das HPM-2002-OBE, ein Vakuum-Messgerät mit zwei Sensoren, ist eine systemmontierte Version des Messgeräts. Das HPM-2002-OBE bietet alle Leistungsmerkmale der Serie 2002 in einer kompakten Konfiguration mit einer Auswahl von 12 Signalausgangsoptionen. Anwendungen Ätzen von Halbleitern Sputtering-Kammer Schleusensysteme Prozesskontrolle und Test Plasma-Beschichtung