CO-Gassensor OPTI-Sense CO2HalbleiterNDIR
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Eigenschaften
- Gastyp
- CO, CO2
- Technologie
- Halbleiter, NDIR, Infrarot
Beschreibung
Die Sensoren der Serie OPTI-Sense basieren auf der NDIR-Technologie (Non-Dispersive Infrared Infrared). Sie sind so konzipiert, dass sie präzise
messen die Absorption im Infrarotspektrum von Spezialgasen, die typischerweise in Halbleiteranwendungen vorkommen. Sie sind
sehr kompakt und ohne bewegliche Teile konstruiert, was den OPTI-Sense robust und ideal für die kontinuierliche In-situ-Gasüberwachung von Halbleiterprozessen macht.
Eingebaute Diagnosefunktionen sind in der eingebetteten Software enthalten. Alle OPTI-Sense Sensoren sind mit analogen und digitalen
schnittstellen, wodurch sie sich leicht in jeden Prozess integrieren lassen.
Merkmale
- NDIR Nicht-dispersives Infrarot
- Ideal für alle infrarot-absorbierenden Gase (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 und andere Arten)
- Schnelle Reaktionszeit
- Hohe Empfindlichkeit
- Spezies-spezifisch
- Keine Verbrauchsmaterialien
- Keine beweglichen Teile
- GUI-LabView-Software (optional)
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.