Gas-Regelsystem SCI-552

Der SCI-552 ist ein Systemcontroller für Ozonabgabesysteme, der elektronische Steuerungsschnittstellen für eine Reihe typischer Systemkomponenten bereitstellt, darunter: Ozongeneratoren, EV-Ventile, Massendurchflussregler, Gegendruckregler, Ozonsensoren nach Teledyne API 452, Sensoren für gelöstes Ozon nach Teledyne API 470 und einen Wasserkühler. Das SCI-552 bietet Hardware- und Software-Unterstützung für eine Reihe von Systemverriegelungsfunktionen. Das SCI-552 bietet Flexibilität für den Endanwender und ermöglicht die Steuerung des Systems über die Benutzerschnittstelle der Frontplatte, die serielle MODBUS-Schnittstelle oder verschiedene diskrete digitale und analoge E/A-Punkte. Das SCI-552 ist für die Unterstützung von zwei Ozongeneratoren ausgelegt, die zwei unabhängige Ozonausgangskanäle bieten. Merkmale - RS-232-MODBUS-Fernunterstützung - Steuerung von bis zu 2 Ozongeneratoren - Schnittstelle mit bis zu 2 Ozonsensoren Modell 452 & Modell 470 - Steuerung von bis zu 4 Massendurchflussreglern - Steuerung von bis zu 2 Gegendruckreglern - Steuerung von bis zu 2 EV-Ventilen - Steuerung eines Wasserkühlers - Systemverriegelungs-Eingänge - Fernsteuerungen auf Systemebene und Status-E/A Bewerbungen Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) - Atomlagenabscheidung (ALD) - Oxid-Wachstum - Oberflächenkonditionierung - Veraschung - Partikel-Reinigung - Fotolack-Entfernung - Andere