Detektor für gelöstes Ozon 470

HalbleiterIndustriekompakt

Das Modell 470 ist ein hochmoderner Sensor für gelöstes Ozon, der für Halbleiter-Nassbankwerkzeuge und viele andere industrielle Prozesse entwickelt wurde. Er ermöglicht die kontinuierliche Messung von gelöstem Ozon in entionisiertem Wasser oder Schwefelbädern mit Konzentrationen von bis zu 150 mg/L. Das Modell 470 ist "clean-ready" für hochreine Halbleiterprozesse und kann einfach in-line in die Rezirkulationsschleife eines jeden Nassbank-Werkzeugs mit Durchflussraten bis zu 150 SLPM gespleißt werden Der Sensor Modell 470 verfügt über eine innovative Probenabtasttechnologie mit zwei optischen Pfaden, die eine beispiellose Leistung bietet und eine Messung mit einer Referenzflüssigkeit praktisch überflüssig macht Eine typische Installation besteht aus dem 470-Sensor und einem Teflon 7-ummantelten Verbindungskabel. Der 470-Sensor bietet die Möglichkeit, die zu messende Konzentration über analoge oder digitale Signale an die Nassbank-Konsole zu melden Merkmale - In-situ-Überwachung - Inline-Fähigkeit, voller Durchfluss - Gerader Durchflusspfad - Keine beweglichen Teile - Keine Verbrauchsmaterialien - Bereiche bis zu 150 mg/L - Ferngesteuerte Nullpunkt-Kalibrierung - Hochgenaue UV-Absorptionsmethode - Doppelte Abtasttechnik für optische Wegproben - Keine regelmäßige Wartung erforderlich - Benetzte Materialien mit Halbleiterqualität - Kompaktes FRPP-Gehäuse - Teflon7-ummanteltes Verbindungskabel