Hohe Beschleunigung und Dynamik
Die Vakuum ULV – G2 Serie ist die mittelgroße in der High-End-Serie von vakuumtauglichen Linearmotoren. Sie werden häufig für Anwendungen verwendet, die eine Spitzenkraft oder eine geringe Wärmeabgabe erfordern, z.B. in Lithografie- und Inspektionslösungen.Bei längeren Hüben können ULV – G2 Spuleneinheiten kombiniert werden, um Magnetjoche einzusparen und dennoch eine hohe Leistung zu erzielen.