Hochpräzisionstisch KDT105 series

XYpiezoelektrisch2-Achs

Der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen bietet hohe Dynamik und Geschwindigkeit für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg. Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht er kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Mit einem Nanomotion erreicht er eine sehr hohe Dynamik sowie hohe Geschwindigkeiten und verfügt über eine maximale Lebensdauer mit einer Präzision im Mikrometerbereich. Er lässt sich einfach mit dem Hubtisch MT105 oder den Drehtisch DT105 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron