XYZ-Positioniersystem 782300:150.26.AB

linearvertikalhorizontal

Der Gantryaufbau ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1.000 x 800 mm (angepasst an die Aufgabe und den verfügbaren Stellplatz) bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,3 µm und ist damit ein Garant für hohen Durchsatz bei gleichbleibender Qualität. In der horizontalen XY-Ebene sorgen integrierte Linearmotoren für Prozessgeschwindigkeiten von 500 mm/s, auf der vertikalen Z-Achse erzielt der AC-Servo Werte bis 200 mm/s. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an der Z-Achse bewegt sich schnell und gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Vielzahl an individuellen Anpassungsmöglichkeiten • Ideale Basis für Inspektionsanlagen in der Halbleiter- oder Optikfertigung • Sehr große Verfahrwege von 1300 x 800 mm • Hochdynamisch für Spitzengeschwindigkeiten bis zu 1000 mm/s • Integrierte Linearmotoren garantieren hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten bei gleichzeitig hoher Präzision • Hochpräziser und langlebiger Antrieb in Z durch einen geschliffenen Präzisions-Kugelgewindetrieb • Leichte Ein- bzw. Anbindung an automatisierte Handlingsysteme • Zusätzliche Verkleidung mit integrierter Absaugung bzw. Umhausung für Ausführungen bis Reinraumklasse ISO 6 Optional erweiterbar: Anreihbare Systemausführung • Anpassung der Verfahrwege, Längenkombination, Verkabelung und Steuerung • Kombination mit Hubtischen und/oder Drehachsen für die Inspektion komplexer Geometrien • Bereitstellung von kundenspezifischen Schnittstellen für teil- oder hochautomatisierte Halbleiterfabriken • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware