Mikro-Positioniersystem / Ultrahochvakuum MP53-3-PM-10-PM-L

3-AchsXYZpiezoelektrisch

Hochauflösender Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm • Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Miniaturisierter XYZ Manipulator für anspruchsvolle Anwendungen Der Manipulator MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung