Mikro-Positioniersystem / Ultrahochvakuum MP105-3 series

3-AchsXYZpiezoelektrisch

MP105-3 - Vakuum kompakte Mehrachssysteme Schneller, präziser Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • Verschienene Motorvarianten: Piezomotor oder Nanomotion • Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm • Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung