Ultrahochvakuum-Positioniersystem LA80-2LA95

Mehrachsen3-AchsXY

Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last Diese schnelle Transferachse eignet sich für präzise, schnelle und langlebige Anwendungen in Ultrahochvakuum. Auch werden wegen der sehr niedrigen Ausgasung und Partikelarmut die Anforderungen an einen Einsatz unter extrem ultravioletter Strahlung erfüllt. Die Achsen sind in den Größen LA80, LA95, LA170 erhältlich und für Lasten bis 20 kg im Vertikalbetrieb ausgelegt. Diese Achskombination entstand im Rahmen des “tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI). Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Lebensdauer im Kilometerbereich ohne Flüssigschmierung • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung Optionen: • Verfahrwege spezifisch anpassbar auf Ihre Anwendung bis 510 x 80 x 80 mm • Ohne Feedback als reines Schrittmotorsystem bis 5 µm Wiederholgenauigkeit • Überragender Stillstand im Nanometerbereich durch zusätzliche Piezo-Zangenbremsen in Z und Y • Kugelgewindetrieb in Z und Y für höhere Geschwindigkeiten und Lebensdauer bei Schmierung • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 4 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Referenzen OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247