XY-Tisch KT500-EDLM

mit Linearmotor2-AchsHochpräzision

Flach, präzise und schnell Der Kreuztisch KT500 besticht nicht nur durch ein sehr flaches und kompaktes Design. Dank 350 mm Verfahrweg sind auch große Substrate und Teile vollflächig scanbar. Er ist so konstruiert, dass alle Ablaufparameter exakt wiederholbar sind und eine vergleichbare Performance von Luftlagersystemen erreicht wird. Dank eines über eine Steckverbindung trennbaren Kabelinterface ist eine einfache Montage und ein wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe möglich. Hochdynamisches XY-System mit hoher Lebensdauer • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.3 µm • Zeitersparnis beim Start-Stopp-Betrieb durch Spitzengeschwindigkeiten bis 300 mm/s und einer Beschleunigung von 1G • Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig • Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe • Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal • Erhältlich mit bis zu zwei elektrodynamischen Linearmotoren je Richtung: 2+2 Motoren für ein besonders schnelles Scan-Ergebnis, 2+1 Motoren für eine gleiche Dynamik Anwendungsfelder Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische