Linearer Tisch LA80 series

motorisiert1-AchsHochpräzision

High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Lebensdauer im Kilometerbereich trotz Trockenschmierung • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung Optional konfigurierbar: • Wahlweise mit und ohne Messsystem • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170) • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Hohe Lebensdauer trotz Trockenlauf Diese Linearachse wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme und für hochdynamische Transfersysteme eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Ein Kugelgewindetrieb sorgt für eine hohe Steifigkeit und Stillstandsstabilität bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit. Das System kommt ohne flüssige Schmierstoffe aus und bietet dennoch eine Lebensdauer im Bereich von mehreren Kilometern.