Vakuumkompatibler Tisch LA92-40-LM-L

linearmotorisiert1-Achs

LA92 - Vakuum Linearachsen und Lineartische High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170) • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 • Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren. Anwendungsbereiche Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion