XYZ-Positioniersystem 782300:199.26

4-Achslinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ISO 2 einsetzen. Aufgrund der Auslegung der Verfahrwege auf bis 320 x 320 mm in XY eignet er sich für alle Standard-Wafergrößen bis 12-Zoll. Die Proben werden hochpräzise mit dem linearmotorgetriebenen Kreuztisch KT405-320-EDLM zu einem Laser, Sensor oder Kamera in der Z-Achse manipuliert. Die Justage des Sensors bzw. Kamera erfolgt in vertikaler Bewegung (maximal 50 mm) mit dem Präzisionsmesstisch PMT160-050-DC-R/L, der optional mit einem Schwenkeinheit ergänzt werden kann. Hochpräzise Prüfung in anspruchsvollen Reinräumen • Ideal für anspruchsvolle Test- und Prüfprozesse in der Halbleitertechnik, Biotechnologie und Pharmaindustrie • Schnelle Anpassung an unterschiedlichen Mess- und Prüfaufgaben • Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm bei hohen Geschwindigkeiten bis 100 mm/s • Sicherungskonzept mit Schutzhaube • Emissionsfreiheit bis Reinraum ISO Klasse 2 • Lieferung des Systems mit Granitbasis auf Dämpfern, Stahlgestell inkl. Steuerung komplett mit Schutzhaube und lackierten Gehäuse Optional erweiterbar: • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Schwenkarm für Sensor mit dem Drehachse DT200 • Grundplatte aus Granit oder Aluminium • Weitere Verfahrwege und unterschiedliche Proben • Anpassbar für die Integration in automatisierte Prozesse • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware