Einachsiges Positioniersystem 782424:005.26

linearDrehfür Wafer-Inspektion und Metrologie

X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch - Inspektion und Mikroskopie Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung Dieses X Phi System erlaubt die Positionierung von Proben (z.B. Wafer, biologische Proben) in einem exakt definierten Winkel zum Sensor bzw. Kamera. Es besteht aus einer linearen X-Achse, den präzisen Standard-Lineartisch PMT160 mit Kugelumlaufspindel, sowie einer integrierten Dreheinheit mit unbegrenzten Verfahrweg, angetrieben durch Flachriemen. Für die Reinraumtauglichkeit wurden die Kabelführungen sowohl für das mittig liegende Messsystem als auch für die bewegte Dreheinheit innerhalb der Einhausung des Linearsystems untergebracht. Faltenbälge schließen das System nach außen hin ab, damit ein Partikelausstoß verhindert werden kann. Langlebiges Positionierssystem für Reinräume • Ideal für Inspektionsaufgaben in der Halbleitertechnik, Biotechnologie und Pharmaindustrie • Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm • Hervorragende Ebenheit des Lineartisches ermöglicht eine hochpräzise Schichtdickenmessung mit nur einem Sensor • Reduktion der Partikelemission auf ISO Klasse 5 durch Einhausung und Faltenbälge • Wartungsfreier, industrieller Dauerbetrieb und einfacher Systemaustausch auf der Grundplatte