XYZ-Positioniersystem 782498:001.26

linearautomatischfür die Halbleiterindustrie

XYZ Inspektionsgantry für Halbleiter | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC-Servo - Inspektion und Mikroskopie Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor an der Z-Achse über das Messobjekt. Basierend auf der Linearachse LA250 mit linearen Direktantrieb erreicht dieses System hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit. Für die vertikale Positionierung wird der hochpräzise Lineartisch PLT165-AC mit einem leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb genutzt. Er besitzt eine hohe Traglast, auch für schwere Sensoren. Hoher Durchsatz im wartungsarmen 24/7 Betrieb Ideal zur automatisierten Inspektion großen, flachen Proben z.B. Wafer, Probecards mittels Fahrbrücke Sehr lange Verfahrwege von 700 x 700 x 200 mm für Lasten bis 15 kg Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm Höchste Stabilität für Messungen mit hoher Vergrößerung Optional erweiterbar: Verschiedene Verfahrwege bis 2000 mm Steuerung in Z manuell oder motorisch Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware