XYZ-Positioniersystem 782300:265.26

linearfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür die Halbleiterindustrie

Hochstabile berührungslose optische Vermessung Diese XY-Kombination verfügt über eine separate Z-Vertikaleinheit, an dem ein kundenspezifisches Mikroskop, Kamera oder Sensor montiert werden kann. Der Kreuztisch KT310 mit Schrittmotor auf der Granitplatte bewegt den zu untersuchenden Wafer hochpräzise zum Mikroskop und ermöglicht stabile und hochauflösende Aufnahmen. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums. Hochpräzise Analyse kleinster Details • Ideal für optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten und Probe Cards • Leicht adaptierbar auf verschiedene kundenspezifische Mikroskope, Kameras oder Sensoren • Hochpräzise Oberflächeninspektion von Wafern bis 200 x 200 mm • Wartungsarm und mit optimierten Preis-Leistungsverhältnis durch den Antrieb mit Schrittmotor Optionale Erweiterungen: • Weitere Verfahrwege und Längen • Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit Absaugung • Individuelle Lösungen für die Kabelführung • Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer • Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung