XYZ-Positioniersystem 782300:222.26

linearfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür die Halbleiterindustrie

Automatisierte XYZ Inline-Wafer-Inspektion mit großer Probenauflage Dieses Inspektionssystem ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer Carrier bis 50 kg entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die gleichzeitige Positionierung von Sensor in Z und Prüfling in XY auf sehr kompakten Bauraum. Das robuste System erlaubt auch in Z den Einsatz von schweren Sensoren oder Kamerasystemen bis 20 kg. Der Spindelantrieb garantiert in Kombination mit einer Spindelbremse optimale Selbsthaltung, sodass im stromlosen Zustand eine vertikale Position gehalten werden kann. Das emissionsarme ringsum geschlossene System eignet sich auch für raue Industrieumgebungen unter Staub und Rauch. Für die Kabelaufführungen wurde eine Aufhängung am Granit angebracht. Kompaktes Design mit optimierten Preis-Leistungs-­Verhältnis • Ideal für Inspektion großer Carrier bis 650 x 650 mm • Präzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 2 µm • Gutes Preis-Leistungsverhältnis durch Antrieb mit Schrittmotor • Starke und robuste Z-Achse für Kameras, Mikroskope und Sensoren bis 20 kg • Geeignet für Industrieumgebungen z.B. Staub, Rauch Optional erweiterbar: • Verschiedene Verfahrwege bis 1000 mm • Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit Absaugung • Individuelle Lösungen für die Kabelführung • Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer • Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware