3-Achs-Positioniersystem 782300:186.26

XZlinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

XZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem Hochpräzises und modulares 2-Achs-System Diese XZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Das XZ-System ist sofort betriebsbereit mit Controller und arbeitet mit zuverlässigen Parametern. Flexibel, sofort betriebsbereit und getestet · Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik · Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.4 µm · Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit bei vergleichsweise hoher Positioniergeschwindigkeit von 30 mm/s · Perfekte Ebenheit von 1 µm bei der Positionierung mittlerer Lasten bis 5 kg Optional konfigurierbar: · Unterschiedliche Verfahrwege je Achse von 50 - 300 mm · Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200 · Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor, Linearmotor und Nanomotion · Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 · Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware