X-Phi-System für die Positionierung optischer Linsen, Zylinder z.B. Tastschnittmessgerät | X DC-Motor, Kugelgewinde, Kreuzrolle, Linearmessystem | Phi AC-Servo, Winkelmesssystem
Exzellente Stabilität für enorme Auflösungen
Dieses X-Phi-Positionierssystem besteht aus hochpräzisen und langlebigen Standardachsen des Lineartisches PMT160 und für die Drehung den DTS130-HM. Er eignet sich ideal für Messanwendungen, bei denen die Probe präzise in Messposition gefahren wird und damit keine zusätzliche Zuführachse nötig ist.
Hochpräzise und zuverlässige Messergebnisse
· Ideal zur optischen Vermessung von runden Teilen z.B. Wafer, Optiken
· Spart die zusätzliche Anschaffung einer Zuführachse ein durch hochgenaue Drehbewegungen mit Hub
· Hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.0017°
· Fährt 1.9 µm präzise mit X in die Messposition
Optional konfigurierbar:
· Verfahrwege bis 300 mm
· Grundplatte aus Granit oder Aluminium
· Wahlweise mit innen liegendem Maßstab (270 mm)
· Kombinierbar mit weiteren Drehtischen z.B. DT200
· Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 möglich
· Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware