3-Achs-Positioniersystem 782300:113.26

XYZlinearfür Wafer-Inspektion und Metrologie

XYZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem Hochpräzises und modulares 3-Achs-System Diese XYZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Das XYZ-System ist sofort betriebsbereit mit Controller und arbeitet mit zuverlässigen Parametern. Flexibel, sofort betriebsbereit und getestet · Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik · Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.5 µm · Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit bei vergleichsweise hoher Positioniergeschwindigkeit von 30 mm/s · Perfekte Ebenheit von ± 0.5 µm bei der Positionierung mittlerer Lasten bis 150 N Optional konfigurierbar: · Unterschiedliche Verfahrwege je Achse von 50 - 300 mm · Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200 · Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor, Linearmotor und Nanomotion · Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 · Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware