XYZ-Positioniersystem 782481:001.26

Portalfür Wafer-Inspektion und Metrologiefür Mikroskopie

XYZ AFM-Gantry für Wafer Inspektion, Mikroskopie | Verfahrwege bis 550 x 1550 mm | Luftlager, Kugelgewindetrieb, Riemen, Schrittmotor Hochstabiles AFM-Luftlagergantry mit großen Verfahrwegen Dieses sehr steife XYZ Gantry ist speziell für die hochpräzise rasterkraftmikroskopische Untersuchung (AFM) von besonders großen Glasproben entwickelt. Über der u-förmigen Probenplattform befindet sich eine bewegliche Traverse in Z für das kundenspezifische AFM. Der Cantilever lässt sich exakt zur Probe ausrichten und zu jedem beliebigen Punkt innerhalb der U-Form zur Erfassung des Oberflächenreliefs bewegen. Die Luftlagerung sorgt für exzellente Stellgenauigkeit in der Ebene. Das maximale Probengewicht beträgt 500 kg. Atomare Stabilität für anspruchsvolle Messungen · Ideal für hochsteife und präzise Vermessungen ohne Einfluss von Schwingungen · Hoher Durchsatz durch Verfahrwege von 150 x 275 x 50 mm, erweiterbar auf 550 x 1550 x 50 mm · Extreme Stabilität im Stillstand von 5 nm und besser · Überragende Lebensdauer durch den Einsatz verschleißfreier Luftlager Optional adaptierbar: · Nanosurf bietet Ihnen kompakte, montierbare und kundenspezifische AFM-Systeme. Mehr Informationen erhalten Sie hier.