Hochpräzisionstisch HT160 series

vertikalmotorisiertvakuumkompatibel

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 Optional konfigurierbar: • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Präziser Hubtisch für hohe Lasten Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe. Die Kombination aus Getriebemotoren und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron