Tisch für Schwerlast HT240 series

vertikalmotorisiertHochpräzision

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung • Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) Optional konfigurierbar: • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Optional mit Controller FMC400/450 Präziser Hubtisch für hohe Lasten bis 40 kg Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 90 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Waferinspektion, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron