Vakuumkompatibler Tisch LA170 series

XYZmotorisiertMehrachsen

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10E-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung Optional konfigurierbar: • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Sie wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme sowie für das Scannen von mehreren Proben gleichzeitig eingesetzt. Sie ermöglicht eine extrem feine Positionierung mit hoher Lasten im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Anwendungsbereiche Aufbau von Mehrachssystemen, Prozessautomatisierung, 3D Scans, Probenscan, Positionierung bildgebender Systeme, Mikroskopie, Analyse von Proben, Halbleiterinspektion, Qualitätssicherung in der Biotechnologie und Halbleitertechnik, Forschung, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron